JEL GCR4280系列
4軸水平多関節型クリーンロボット
特徴です
GCR4000-AMシリーズはスーパークリーンルーム用多軸タイプの4軸水平多関節型クリーンロボット
大口径ウェーハ対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています
水平に配置された3FOUPに対応可能
装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能
動作モニター装備
全軸アブソリュートエンコーダ内蔵ACサーボモータ使用
S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送
チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミクス等各種対応可能
被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応可能